二手 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166335 待售
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SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是用于半导体和其他晶圆产品的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统专为下一代半导体生产作业而设计,提供卓越的表面光洁度、提高的产量和更高的吞吐量。DSM 9B-5P-V由一系列在真空室中进行的研磨、研磨和抛光操作组成。研磨台阶使用金刚石浸渍或杯轮,在精确控制的环境下研磨晶片两侧,确保表面光洁度均匀。然后,研磨过程利用精密发电机模块提供均匀的研磨压力和低速,从而实现目标完成。最后,抛光步骤利用一个液体浆料抛光磨料从100到2700级产生镜面光洁度。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V还配备了多种增强其运营的功能。该单元的高速驱动和先进的控制技术允许高速处理高达10,000 RPM的精确控制。计算机还具有远程SCADA监视功能,使其能够定期报告当前处理状态。DSM 9B-5P-V还具有广泛的安全、质量控制和维护功能。它的安全工具通过控制进入、运动和振动以及监测能耗来帮助保护机器及其操作员。质量控制产品包括用于晶圆检测的视觉和激光系统以及基于条形码的部件跟踪作为一种预防质量措施。通过监控所有活动部件(如磨头和泥浆泵)的传感器简化了维护。资产还配备了一个集中润滑模式,允许快速维护和维修。总之,SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是晶圆研磨、研磨和抛光行业领先的设备.凭借其众多的功能,它提供了卓越的表面光洁度能力、提高的产量和更高的吞吐量。它非常适合推动下一代半导体生产。
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