二手 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166339 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,具有提高产量、成本效率和周期时间的双重处理能力。这套系统是专门为加工硅、砷化氙、的陶瓷和其他基板而设计的，以创造复杂的装置特征。该装置采用高速旋转盘，以高精度研磨和膝盖硅基板的表面。此外，DSM 9B-5P-V包括行星抛光头抛光基板所需的表面光洁度。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V机利用两个独立主轴的组合，一次处理多达两个晶圆。此配置减少了循环时间,并提高了加工复杂基板时的产量和成本效率。每个主轴采用独立控制的主轴驱动电机和高度耐磨的主轴盘，以便进行高效、精确的研磨和研磨操作。行星抛光头由高度可控和可调节的压力头、多个行星级和浮动端效应器组成，以提高抛光精度。DSM 9B-5P-V具有可编程控制器和图形用户界面,用于简单直观的操作。该工具设计有气动驱动的穿梭装载机，可容纳8英寸以下的晶圆尺寸，以及用于精确基板放置的重型索引器。此外,该资产还具有板载配方存储和再生制动功能,可提高循环时间和安全性。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V配备了一个超高效的除尘模型，在加工操作过程中清除小颗粒。该设备还采用了业界领先的过滤系统，以维持安全和无污染物的工作环境。此外,DSM 9B-5P-V的设计符合所有适用的安全指令和排放标准,并包括一整套安全功能。最后,SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光装置,在加工复杂基板时提供卓越的精度和性能。该机融合了双主轴、可编程控制器和用户界面、气动驱动的穿梭装载机、除尘工具，以及提高产量、成本效益和循环时间的各种安全特性。