二手 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166340 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是为半导体应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该机器采用高精度和高质量的部件，以确保加工晶片的可重复性和一致性。该系统具有沿X、Y、Z、A和B轴移动的5轴运动平台。这使得磨削和抛光头的精确和可重复定位具有微米级精度。平台还有一个符合人体工程学的夹具，用于在研磨或抛光时牢固地握住和操纵晶片。磨削、研磨和抛光头由强大的高速电机主轴驱动。纺锤的速度调节，以防止头部过度劳累的基板和损坏晶片。特殊的附着夹具用于正确地将每种类型的工具固定在磁头上--金刚石磨轮、油润滑、风冷研磨箔和抛光垫。DSM 9B-5P-V有一个内置的自动晶片进给单元，它提供了一个在机器和操作员或外部晶片处理程序之间传输晶片的安全机制。自动进料机在处理大量晶片时也将用户接触降至最低，减少污染。该工具提供了一个可调空气真空资产与脉冲回冲洗设计，以消除任何磨削或抛光碎片在处理过程中产生。该模型还带有一个集成的主轴冷却单元，以精确调节研磨和研磨主轴的温度。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一种先进高效的半导体晶片研磨、研磨和抛光设备。它采用高精度、高质量的元件构成，并具有自动晶圆进纸器、可调真空系统、集成主轴冷却单元等几个使工艺更容易、更安全的元件。