二手 SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 #9073040 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42是为半导体工业设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统能够对厚度不超过5毫米的晶片进行精密加工。该单元设计用于精确进行研磨、研磨和抛光操作，而不会损坏晶圆切削刃和薄膜。本机由仪表底座、变速电机、变频传动、磨砂带、橡胶研磨垫、研磨膏、抛光垫组成。仪表基座由刚性钢架组成，构造有抗震部件，设计目的是将热膨胀降至最低。以最大转速4000 rpm、频率10 Hz的变速电动机来驱动磨料带。变频驱动器用于控制电机的速度和方向，并提供计算机控制的操作。磨料带由柔性材料构成，设计目的是在不损坏晶片的情况下去除晶片中多余的材料。软橡胶研磨垫用于进一步磨蚀晶片表面，并为抛光做准备。研磨膏用于创建光滑的表面光洁度并增强表面的清晰度。最后使用抛光垫使晶片表面达到镜面光洁度。DSM 9B-5SSG-42工具能够达到最大表面平整度和平滑度分别为5和2微英寸（µm）。与手动替代方法相比,此资产能够在很小的时间内完成表面准备过程。此外,计算机控制的操作确保了一致的结果,并且可以轻松校准模型,以适应晶圆组成或工艺参数的任何变化。因此，SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42是半导体工业中高精度晶圆制备的理想解决方桉。