二手 SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV #197149 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV是一种晶片研磨、研磨和抛光系统，能够在用于生产半导体器件的晶片上产生极其精确和平坦的表面。该系统旨在实现半导体器件生产中尽可能高的可重复性水平。DSM 9B-5SSG-IV具有多个组件,使其能够实现如此高的可重复性。这些部件包括金刚石镀层磨轮、黄铜粘结金刚石研磨板和抛光轮。金刚石镀层砂轮的设计是为了在晶圆上产生最精确的表面光洁度。它由一台3 HP主轴电机提供动力,转速高达15,000 RPM。黄铜粘合的金刚石研磨板用于为晶片提供均匀的光洁度。这块板也可以用来调节晶圆的厚度。最后，利用抛光轮使晶圆表面得到光洁度，进一步降低表面粗糙度。该车轮由2 HP, 120 V/60Hz马达提供动力。SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV还具有许多控制功能,使其能够实现如此高的可重复性。这些特性包括真空调平和保持装置、每个研磨压力控制的负载和晶圆厚度均匀性检查器。真空调平和保持装置允许在研磨过程之前对晶片进行一致的调平。每个研磨压力控制的载荷通过控制研磨时施加在晶片上的压力量，有助于保持晶片表面均匀平整。最后，晶圆厚度均匀性检查器确保晶圆在其整个长度上具有一致的厚度。DSM 9B-5SSG-IV是任何需要高精度、重复性和准确性的制造商的完美解决方桉。该系统能够提供最高质量水平，同时降低与半导体器件生产相关的成本。金刚石镀层磨轮、黄铜粘合金刚石研磨板和抛光轮的组合，确保用户从其晶片中获得最精确、最平坦的表面。