二手 SPEEDFAM DSM10.5B-5PV #9222206 待售

SPEEDFAM DSM10.5B-5PV是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为高容量、精密的微细加工应用而设计。该系统提供了高精度、超稳定的研磨和研磨能力,为各种基板提供了最佳的表面光洁度。该单元具有10×5晶圆磨轮、五个主轴头和五个可分离抛光头全部安装在基台上。每个主轴采用用户可调节的转速和车轮转速的自动平衡来独立操作。所有五个主轴头都可以同时控制，允许晶片同时研磨和研磨。五个可分离的抛光头配有自动处理的传感器，以及保持研磨区域清洁的吸尘器。机器还包括一个除尘工具，以保持研磨和抛光区域无磨料颗粒。SPEEDFAM DSM10.5B-5PV能够在5微米以内产生均匀的表面光洁度和平整度,同时提供高速度的材料去除和均匀的晶圆厚度。该资产采用金刚石、CBN或氧化铝磨料磨轮，非常适合加工硅、蓝宝石等多种材料。为确保可重复性和准确性，SPEEDFAM配备了温度传感器、真空淋浴和助推器，以及防尘面罩、安全灯帘和无火花无刷电机等安全功能。此外，该模型还具有自动保护设备，可防止在操作过程中损坏设备和砂轮。另一个优点是用户友好的软件界面,它允许根据流程要求进行可定制的设置。总体而言，SPEEDFAM DSM10.5B-5PV是一个出色的晶圆研磨、研磨和抛光系统，能够提供精确的结果，具有高精度和稳定性。该设备具有多种用户可调节的速度设置和自动化的安全功能,可提供可靠且经济高效的方式来生产高质量的微细基板。