二手 SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH #9273142 待售

SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光（WGLP）设备。它可容纳直径不超过6英寸的晶圆,非常适合半导体材料应用的预加工和后处理。该系统由垂直主轴电机、两个反向旋转磨盘和两个金刚石板组成，这些金刚石板根据所使用的磨料和压板材料提供多种工艺。此外，磨盘转速和垂直主轴电机转速可以分别控制。为了优化WGLP工艺，水喷嘴用水润湿砂轮和晶片表面，而真空喷嘴则吸入研磨工艺产生的灰尘，安全处置。该装置具有可靠的作用力控制，确保过程中磨削/抛光力的稳定性。此外,高级控制机器在此过程中提供实时操作控制,如果发生任何故障,警告工具将提醒操作员。该资产具有成本效益,可提供高精度表面处理。它易于操作和维护，使其成为那些需要研磨、打圈或打磨晶片的人的理想选择。