二手 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9120349 待售
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ID: 9120349
优质的: 1991
Polishing machine
Thickness control unit
Slurry tank and pump
1991 vintage.
SPEEDFAM DSM9B-5L-III是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它提供了一个经济高效和可靠的方式来完成复杂的基板具有高质量的表面光洁度和低拥有成本。该系统包括高精度主轴和变速驱动单元,使机器能够处理形状、大小和厚度不同的晶圆。主轴头在垂直和水平方向上均可调节,使用户可以调整工件的位置,从而确保完美的刀具接触以及整个晶圆直径上的均匀压力分布。主轴可提供高达100,000 RPM的转速,使其能以极高的精度和较小的噪音高速运行。此外,DSM9B-5L-III还配备了一种高度敏感的高级反馈控制工具,可以自动调整速度,从而确保整个过程的一致性。SPEEDFAM DSM9B-5L-III上晶圆研磨所用的磨料是一种具有特殊专利的耐久耐用磨料金刚石材料。它结合了较高的研磨力和较低的切削热量,以达到有效的研磨、研磨和抛光效果。此外,该资产还具有研磨和抛光直径不超过4英寸的工件的能力,使其能够加工和完成一些最复杂的基板。设备的内置专利冷却模型利用特殊的冷却通道,方便工件在研磨和抛光过程中冷却。冷却过程显着降低了机器的工作温度,从而防止晶片和金刚石磨料过度加热,并保护其免受损坏。最后,DSM9B-5L-III配备了安全功能,如防震和安全开关,可防止其在没有监督的情况下运行,维护操作员的安全以及机器的完整性。该系统效率高,易于维护,备件最少,维护成本低。总体而言,SPEEDFAM DSM9B-5L-III晶圆研磨、研磨和抛光装置是任何实验室寻找高精度和一致结果的理想选择。其专利技术提供了一种经济实惠、可靠的方法来完成复杂的工件具有极高的精确度和显着降低运营成本。
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