二手 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9223162 待售

SPEEDFAM DSM9B-5L-III是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这一通用的生产就绪系统旨在最大限度地提高半导体、MEMS和其他微技术部件的制造精度、生产率和成本效益。该单元提供直径可达300 mm的晶片的高精度研磨、研磨和抛光。DSM9B-5L-III配备了双轴承伺服控制主轴，以确保磨削、研磨和抛光过程中的最大精度和可重复性。数字表面质量控制机可确保高效、一致的表面精加工。该工具具有多通道触摸屏命令的可编程数字控制资产使用户能够存储、编辑和监视流程参数,从而为各种晶圆处理应用程序提供了更大的灵活性和召回存储参数的能力。该模型采用全封闭惰性气体压力控制室和安全联锁装置监测，为操作员提供保护，防止产生的表面受到污染。此外，该系统还能够以自动化和手动模式运行，同时处理多达五个晶圆。SPEEDFAM DSM9B-5L-III有一个坚固的工具库，能够储存和处理多达九种不同的磨削和抛光工具。这一单元包括各种专门的研磨和抛光浆料，以及一个快速track™除草机，以减少循环时间。此外，该工具还包含各种选项，包括消泡泵、喷嘴调度程序和无滤干燥装置。DSM9B-5L-III为半导体、MEMS元件、计算机芯片和其他微技术元件的经济高效、可靠的生产提供了卓越的可靠性、精确度和可重复性。高度精确和坚固的工艺使晶片具有一致的平面光洁度,从而能够生产形状偏差较小的高质量元件。该资产易于操作和维护，是生产可靠、经济高效的微电子元件的理想解决方桉。