二手 SPEEDFAM DSP 18B-5P #9170546 待售

SPEEDFAM DSP 18B-5P晶片研磨、研磨和抛光设备是一种高度先进和自动化的单晶片表面调节系统,用于硅片和其他要求苛刻的表面制备材料。此单元非常适合直径从50 mm到200 mm不等的大型晶片,并且能够实现原子级、低边缘粗糙度表面整理功能。DSP 18B-5P配备闭环高精度定位机，具有安装在主轴上的石英编码器，用于精确的微调控制。这种开环和闭环控制算法的组合允许可重复的过程，并确保高度精确和精确的抛光结果。该工具提供单面研磨和抛光（单面工作站）或双面同时研磨和抛光（四个工作站）的选择,并采用独特的专利处理技术。这种全接触研磨抛光模式为晶片表面提供均匀、恒定的压力，导致表面饰面高度均匀，质量优越。SPEEDFAM DSP 18B-5P处理多种基材，包括单晶基材、玻璃和陶瓷。采用独特的Delta Cu资产来精确控制工艺压力,从而形成均匀、可重复的曲面。利用先进的真空抛光模型，DSP 18B-5P尽量减少浪费和污染。该设备采用变速技术来微调工艺参数，并在整个工艺过程中保持精确的接触压力。每个处理步骤都会自动实时监控,并记录和存储结果以供将来参考。系统的稳健设计还包括触摸屏界面、升级的安全功能以及一系列可进一步自动化的配件。SPEEDFAM DSP 18B-5P具有强大的触觉设计和先进的功能,是任何需要一致、卓越抛光效果的应用程序的理想解决方桉。