二手 SPEEDFAM EPX 300X #9398834 待售

SPEEDFAM EPX 300X是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为需要高性能和速度满足其生产需求的客户而设计。它专为大型生产运行而设计，最大工艺吞吐量高达300晶圆/小时。工艺模块可配置4轴搭板和抛光头。它配有专用磨料介质分发器、方法工程库、过程监控系统和计算机接口。EPX 300X包含高级设计功能,可产生高精度的结果,并具有卓越的成本效益。机器可以精确控制工件的厚度，以及磨料介质与工件表面的摩擦。这样可以在整个晶片上实现均匀的研磨、研磨和抛光性能。该单元还具有快速跟踪过程和测量刀具磨损的能力,确保提高生产率和一致的结果。SPEEDFAM EPX 300X的抛光头可由创新的旋转/从属逻辑控制,该逻辑可防止不需要的摆动并增强抛光模式。此外,可编程数字控制单元（DCU）允许自动启动/停止过程、温度控制和编程数据输入。程序内存运行时可以存储和传输到不同的平台，并允许更轻松的数据跟踪。为确保人员安全，EPX 300X配备了多项安全功能。它具有物理和电子联锁功能，以保护人员免受直接接触危险。使用光学和电子传感器不断监测转子和电动机的速度。此外，它还采用耐用、耐腐蚀的材料密封在灰尘和液体上。SPEEDFAM EPX 300X是一种顶级晶圆研磨、研磨和抛光机,旨在最大限度地提高生产速度和成本效益。其先进的特性、安全特性和创新的设计使其成为需要高精度结果和过程控制的客户的理想选择。