二手 SPEEDFAM G-150 #9219009 待售

SPEEDFAM G-150是一种多功能、高精度的晶圆研磨、研磨、抛光设备。设计用于加工高价值的材料如砷化氙（GaAs）基板，以及电子工业中使用的熔融二氧化硅、硅、石英和蓝宝石基板，其精确的抛光能力使其成为半导体、光学和MEMS应用的理想选择。该系统由两个不同的单元组成：一个研磨机和一个Lapper/Polisher （LP）。磨床使用安装在膨胀轮心轴中的金刚石磨料，从基板上去除大的表面层，产生优于0.001 mm的磨后平行公差。在高精度线性滑动单元和高平滑主轴电机的支持下,Grinder提供了一致的功率和精度。此外，磨床独特的"波浪运动"使磨料在整个磨削过程中保持新鲜，延长了可用的车轮寿命。Lapper/Polisher专为研磨、抛光和压扁大小晶片而设计。组件包括钢制或铝制桌子、一对垂直或水平研磨板和两个研磨臂。电动研磨臂使压板连续运动,以确保一致、均匀的研磨、抛光或研磨运动。钢板臂精心调节金刚石磨损的流动，消除了通过和通过的问题，最终以强烈的平整性和均匀性提供了更高的表面精度。该机器能够在GaAs和其它特殊基板上达到<1Å Ra的表面光洁度。G-150工具还具有压力调节资产，用于精确控制研磨压板和晶圆之间的接触力。该模型由集中式触摸屏界面控制,用户可以实时监视和调整操作数据。总体而言,SPEEDFAM G-150为需要最高级别材料处理精度的应用程序提供准确、可靠和精确的结果。通过提供一致的表面平整度和均匀度，这种设备是在电子和半导体行业中使用的经济高效的选择。