二手 SPEEDFAM G-32BTGW #9118185 待售

SPEEDFAM G-32BTGW是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于在各种半导体晶圆上生产精密表面。该系统配有两个独立可控的研磨站，允许晶圆内外表面的自动化处理。主轴和级也提供变速控制，以最大限度地提高加工效率。该设计可实现非常低的噪声发射和振动水平，并产生高可重复性的结果。G-32BTGW的全自动晶圆处理操作得到了强大的直流电机驱动单元和高精度步进电机的支持。它的不锈钢结构确保了较长的使用寿命，并允许机器在清洁的房间环境中操作。将晶片牢固地夹在研磨夹具上,并紧紧地固定,以获得一致、准确的结果。该工具还可用于在晶圆上产生打磨和抛光的表面。其CMP级采用高度刚性的三点轴承支撑设计,可减少振动,同时提高精度。包含四个主轴使资产能够适应多轴操作。它还具有集成的抛光垫入口,可实现更好的均匀性和可重复性。SPEEDFAM G-32BTGW包括一个简化设置和操作的直观人机界面。用户可以轻松地装卸基板，监控操作进度。还提供全面的业务统计数据，从而能够有效地开发和控制流程。还提供远程维护和支持。为确保最大安全,G-32BTGW设计具有全面的安全功能,如防护罩、联锁和自动紧急关闭。该模型具有可靠的性能和有效的安全措施，是晶圆制造和包装的理想解决方桉。