二手 SPEEDFAM G-32BTGW #9193195 待售
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SPEEDFAM G-32BTGW是一种多功能晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计用于半导体行业。该系统具有旋转运动和线性运动两种特点,能够处理各种材料,如硅、蓝宝石、砷化氙和玻璃,非常适合广泛的应用。该装置采用独特的研磨、研磨和抛光动作。双主轴、双砂砾附件用于提供精确的研磨力,而低压空气/磨料溷合物提供光滑、均匀的光洁度。这种方法与大多数流行的磨床的单砂砾方法不同。主轴和低压空气/磨料溷合物具有更高的切割精度,可实现精确和可重复的加工操作。G-32BTGW有一个五级旋转台,专门设计用于支持晶圆研磨、研磨和抛光操作。每一级都装有一个低摩擦、可逆的磁性驱动器,设计用于速度和精度。桌子可以容纳两英寸和四英寸的晶圆,热量的低分布有助于减少热冲击。该机的自动真空装载站设计的最大精度和可重复性.载荷站配有防辐射闭环控制装置,其设计目的是确保实现可重复体积,即使使用不同的粘度材料也是如此。可选的高压空气/磨料喷嘴可以对材料表面施加额外的力,以实现更平滑的饰面。SPEEDFAM G-32BTGW还包括一组可调玻璃工艺卡盘。这些卡盘设计用于精确固定和抛光晶片,与0.5mm至3mm TTV和高达120mm晶片尺寸兼容。卡盘可用于支持动态晶片抛光操作,并配有手动定位工具,以确保材料在加工过程中的准确放置。总的来说,G-32BTGW是一个优越的选项,广泛的晶圆研磨,研磨,和抛光操作。其先进的特性和能力使得它在半导体行业中非常可取。该设备具有精确的切削动作、可调节的工艺卡盘和自动真空装载站,为快速、精确的加工操作提供了准确性和可重复性。
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