二手 SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH #9066799 待售
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ID: 9066799
优质的: 2004
Polisher
Double sided with (3) motors
Rotational speed: 10 ~ 60 rpm
Surface plate: φ 1154 x φ 364 (Inner diameter) x 50
2004 vintage.
SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种精锐的研磨、研磨和抛光系统,旨在满足最苛刻的半导体制造应用的需要。该单元具有16英寸(41厘米)的压板尺寸,5毫米的不平衡孔口,3米/小时的真空台,0.55千瓦的驱动功率,270公斤的净重。它旨在帮助制造商实现最高的精度、表面光洁度和耐用性。该机器由一个主电平和次电平以及一个可旋转和倾斜以提高灵活性的旋转表组成。Primary Platen采用静态抛光垫,压力可调270度,而Secondary Platen采用独立的可调抛光垫。两款Platen都配备了重型直线轴承和机动驱动工具,用于增加扭矩和动力。旋转和倾斜表可用于提高抛光大型和/或多个晶片时的灵活性。该资产还包括一个强大的钻石浆料饲料和分配模式。设备配有内置的滑板,方便运输大型晶片。JND 16B-5PV-3MH晶圆研磨、研磨和抛光系统还采用了高精度主轴电机,以改进振动阻尼和显着提高精度。SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH晶圆研磨、研磨和抛光装置旨在生产最小Ra为5nm的部件。最先进的真空技术使机器能够减少泥浆中存在的气泡数量,从而提高性能,延长寿命。该工具还可以容纳各种磨料,非常适合各种研磨、拉皮和抛光应用。资产有保修和培训计划作为后盾,以确保最高质量和可靠性。JND 16B-5PV-3MH晶圆研磨、研磨和抛光模型具有精确的公差和强大的驱动器,是要求最苛刻的半导体制造应用的理想选择。
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