二手 SPEEDFAM JND 9B-5P-III #9166278 待售

SPEEDFAM JND 9B-5P-III是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为客户提供精密加工和高度可重复的产品。该系统为直径可达5.5英寸的大中型晶片提供高精度工艺。JND 9B-5P-III采用XY轴配置,允许多轴扫描和高速单点研磨、研磨和抛光操作。SPEEDFAM JND 9B-5P-III采用单头设计,具有多个研磨、研磨和抛光阶段。所有阶段都在同一个腔室中进行，对于每个晶片加工，机器使用多个研磨机、研磨机和抛光机，以确保最佳工艺结果和均匀结果。多级处理允许各种校准步骤，使晶片表面既能达到光滑的表面光洁度，又能达到平坦度。JND 9B-5P-III采用变速抛光机,使客户能够调整过程速度以获得不同的过程结果。除了能够改变工艺速度外,机器还采用多启动研磨工艺,从而能够更准确地发现所需的平整度和表面光洁度。SPEEDFAM JND 9B-5P-III还利用一个先进的晶圆定位单元，允许在整个过程中快速和可重复地定位晶圆。该机采用线性幻灯片进行定位，结合双轴扫描能力，使每个晶片的加工精度一致。JND 9B-5P-III工具旨在为客户提供高度可重复和精确的工艺,以实现所需的表面光洁度和平整度。该资产能够处理直径不超过5.5英寸的晶片,并且可以利用单头或多头配置来提供校准和工艺一致性。该模型具有可调节的抛光速度、多启动研磨以及整个过程的精确定位，能够提供可靠的晶圆处理结果。