二手 SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274 待售

SPEEDFAM JND 9B-5P-IV是为高精度半导体加工而设计的全自动晶圆研磨、研磨和抛光机。该设备提供了广泛的能力，从研磨大晶片（直径可达6英寸）到提供超高抛光饰面。该系统分为三个步骤，包括两个研磨阶段和一个抛光阶段。在研磨阶段，机器使用金刚石尖的工具在晶圆上赋予很高的表面光洁度。在抛光阶段，金刚石工具换成聚氨酯膝盖，晶圆在其中心缓缓旋转，同时手动按住膝盖表面。这允许非常精确和均匀的抛光过程。JND 9B-5P-IV单元由机电晶片处理单元、循环过滤单元、研磨抛光台、浆料分配单元和计算机控制站组成。晶圆处理单元采用模块化设计，允许一次处理两个不同直径的晶圆。它还有一个内置的安全功能，以防止在处理过程中晶片的破损或污染。循环过滤装置连续过滤用过的磨料再利用。磨削和抛光台设有两个独立的电机驱动金刚石刀架。两个持有者垂直水平可调，以容纳各种尺寸的晶圆。浆料分配装置是一种重力供给容器，向金刚石刀架供应适量的液浆。计算机控制站用于编程和监控机器的所有参数,包括晶圆尺寸和厚度、研磨和抛光时间以及表面光洁度。总体而言,SPEEDFAM JND 9B-5P-IV是一种可靠且精确的晶圆研磨、研磨和抛光机,非常适合半导体加工应用。它的模块化设计确保了易于设置和使用，其计算机控制站使用户能够快速高效地对该工具进行编程和监控，以获得最佳效果。