二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #293800527 待售

ID: 293800527
优质的: 2008
Lapper / Polisher 2008 vintage.
SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一种双面、多头研磨/抛光机,用于生产平面、平面平行和/或局部指定的曲面。该系统旨在为生产超平(2um水平)和高精度(>1um)半导体晶片提供卓越的表面精加工。该单元采用工程设计,结合了卓越的机械和技术特点。多用途的研磨和抛光头设计,以适应各种应用和规格更大的晶圆直径。这包括晶圆研磨和抛光操作,斜角,厚抛光和后处理,以及平面化和粗糙抛光。SPEEDFAM 32 BGW机器还采用了先进的数字控制和编程能力。可编程输出和参数如机器循环时间、每个循环的步数、速度调整和水平/垂直研磨都可以用用户友好界面设置。PETER WOLTERS 32 BGW配备了独特的滑轨设置机构,可以快速、精确地调节研磨和抛光板。此工具还包括配方管理资产,用于存储和管理配方,并帮助优化流程参数。该模型还能够打印过程结果并保持统计过程控制。32 BGW还包括一个晶片处理装置,用于在幻灯片上精确定位晶片。该设备能够处理长达450毫米的晶圆尺寸,晶圆直径范围达2mm至10mm。还包括一个完全可编程的旋转进纸器,用于详细的俯仰控制。总体而言,SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW系统是经过优化的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉,旨在满足半导体行业的严格要求。先进的功能、数字控制和配方管理单元使机器能够提供具有可重复处理结果的优越曲面。
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