二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #9194316 待售

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在满足半导体行业苛刻的要求。本机将湿式研磨机的高通量能力与研磨机的精确度相结合，在晶片上产生光滑均匀的表面，具有高精度和重复性。该系统采用两站磨床，采用金刚石磨轮，具有特殊的金刚石和石墨粘结，以提高切割效率和延长刀具寿命。车轮以高速旋转以细磨晶片表面。在初始研磨步骤之后，使用第二个工作站涂上精细的抛光膏并完成抛光过程。该单元还包括一个高级工艺监控单元，可以提供零件速度和抛光工艺参数的反馈，有助于确保整个机器的准确性和可重复性。此外,该工具能够单独控制每个研磨头,从而可以精确控制零件的最终尺寸和形状。为了保证最终表面的均匀性，SPEEDFAM 32 BGW还配备了晶圆清洗资产。此模型用于清除晶圆研磨和抛光过程中可能拾取的任何污染物。设备的集成自动化组件（如部件定位机制和终端效应器）,旨在提供快速、准确的循环时间,而直观的控制使操作员可以轻松使用。PETER WOLTERS 32 BGW能够支撑多达四个生产级的研磨头，最大研磨和抛光速度为2000 rpm。总体而言，32 BGW晶片研磨、研磨和抛光系统是一个强大而可靠的单元，旨在以高精度和重复性在晶片上产生光滑、均匀的表面。其用户友好的控制、易于使用的自动化解决方桉和过程监控功能使其成为各种半导体制造应用的理想选择。