二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BTAW #9286177 待售

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BTAW是一种多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产薄晶圆和基材。该系统由用于不同外围的研磨/螺距抛光单元、研磨（使用磨料纸片切割材料直至达到光滑表面光洁度的工艺）和金刚石研磨（研磨和抛光方法的结合）组成,用于高质量的表面光洁度,以及抛光（用于在抛光晶片上实现镜面光洁度）。它还具有用于统一加工的集成基板支架。该装置提供各种研磨、研磨和抛光策略，从粗磨到最精确的镜面光洁度。晶圆研磨和研磨过程包括从晶圆中去除一层薄薄的材料。螺距板用于将机械振动运动传递到晶片,而磨料则用于去除材料并创建所需的表面轮廓。研磨和抛光阶段由材料和金刚石抛光磨料组成的浆料完成。研磨过程遵循一系列步骤，这些步骤必须以逐渐增加的技巧重复。最后一步是抛光步骤,它将抛光表面光滑化为镜面光洁度。SPEEDFAM 32 BTAW机被设计成能够产生高精度和重现性的薄片。利用检测晶圆尺寸的集成激光工具，可以实现精确的尺寸控制。此资产减少了手动流程的时间和浪费,并降低了成本。该模型是一种通用且可靠的工具，用于以较低的拥有成本研磨晶片。该机器产生一致的质量结果,同时提供精确的重复性、准确性和可靠性。适用于硅、金属等多种材料。