二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS DC52 #9308055 待售
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统对半导体晶片和其他材料进行全面的操作,精度和精度都很高。该单元由于其多功能性、鲁棒性和广泛的应用范围,非常适合半导体行业使用。SPEEDFAM DC52采用高速、柔性的主轴设计进行研磨和抛光,采用低速、反向旋转的主轴进行精密研磨。该机包括真空卡盘、可调主轴、电机主轴、伺服电机、运动控制器、步进电机和光学计量系统。每个操作的参数都可以调整以满足不同的晶圆尺寸、形状和材料。PETER WOLTERS DC52包括一个全封闭的研磨/研磨模块,其设计目的是在研磨和研磨过程中提供高精度和重复性。研磨/研磨过程是研磨和研磨操作的组合,可减少表面的不规则性并消除晶圆表面的划痕。研磨过程具有可调压力和可调速度。它非常适合表面平整、表面纹理化、表面精加工和晶圆切割等应用。DC52抛光模块是为表面均匀的晶圆的超光滑抛光等应用而设计的。抛光工艺包括高性能磨料溶液、可调速度、柔性主轴等特点。它非常适合表面平面化、表面去毛刺和微精加工等应用。SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52进一步采用自动计量工具来测量每次操作时的晶片。计量资产配备了高分辨率光学显微镜、视频监视器和CCD摄像头,用于精确测量。还包括一个隔振表,以提高操作效率和准确性。SPEEDFAM DC52是一种提供可靠高效性能的先进型号,非常适合半导体行业的应用。它旨在以高精度和精确度满足各种应用的需求。它是一种坚固多用途的设备,可以定制以执行一系列操作。
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