二手 SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9143456 待售

SPEEDFAM SFDL-20B-5P是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，专门为满足微加工应用的需求而设计。它由五个独立的单元组成，每个单元提供不同的研磨、研磨和抛光工艺。每个单元相互连接，并提供一个"闭环"系统，它允许用户以高效和可重复的方式实现所需的结果。五个加工单元提供：串联研磨；研磨；钻石切换；型材轮磨削；以及平整抛光。串联研磨单元可以处理高达200毫米的半导体晶片，精度为+/-0.25微米。它提供了一个多步骤，精磨工艺，其中晶圆通过两个旋转的砂轮不同的磨削。这一过程产生均匀、均匀的晶片表面研磨和抛光。研磨装置使用金刚石浆料抛光晶片表面。它的工作原理是在两个大的、平坦的、金刚石浸渍表面之间通过晶圆，使用受控的力和运动。这提供了与国际SEMI标准相匹配的具有紧密公差的均匀、高光泽的光洁度。钻石开关单元提供单步和多步晶片处理,具体取决于用户的需求。在单步过程中，自动从砂轮切换到金刚石抛光板。多步工艺采用了几种工具的组合，如金刚石刀片、磨轮和抛光板，各有其用途。轮廓轮磨削单元允许用户通过使用旋转的轮廓磨削轮来创建精确的轮廓或孔锥边形状来塑造或形成晶片表面。该单元的特点是空气轴承主轴提供高速精度和可重复性的轮廓或形式。最后，平整抛光单元提供了一种不受地下损伤的精确、快速、可重复的平整表面抛光。该装置的工作原理是将抛光板安装在平坦的表面上，然后向下按晶片。这将在晶片的表面上创建统一的平整光洁度。综上所述，SFDL-20B-5P是一个高度先进和精密的晶圆研磨、研磨和抛光装置，可用于产生专业、高质量的微加工应用结果。它提供了一个"闭环"机器，确保准确，可重复的结果与每个周期。它包括五个独立的单元，这些单元提供了一系列的加工可能性，从串联研磨和研磨到金刚石开关和平整抛光。它非常适合那些在晶圆加工解决方桉中寻求精度和质量的人。