二手 SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9224528 待售

SPEEDFAM SFDL-20B-5P是为集成电路和半导体芯片制造商设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这个先进的系统通过无故障的操作提供精确的控制，保证了优越的AOI、低拥有成本和快速的投资回报。该装置采用20"或24"金刚石磨削和研磨头的组合，能够达到0.5 μ m以下的表面细度。根据晶圆的预期用途选择不同尺寸的钻石。使用磨头中的传感器对切割过程进行仔细监控,这有助于保持所需的表面光洁度并消除任何超出规格的异常。SFDL-20B-5P有一个自动晶片加载接口，支持从300 mm到200 mm的多个晶片尺寸。此外，机器还配备了5轴定位机构，允许晶圆表面精确微对准进行精细研磨和研磨；这样可以最大程度地减少表面损坏的可能性,并减少达到所需精度水平所需的时间。该工具还具有防止过热的先进冷却技术，与优化的主轴设计和改进的晶圆支撑结构协同工作，以提高稳定性。在操作过程中,集成的接上端口提供晶片的实时表面评估。此外，除尘资产的设计符合工作场所安全和环境礼仪方面的国际标准。它采用高效过滤模型进行设计，捕获和收集粉尘颗粒，以防止空气污染。SPEEDFAM SFDL-20B-5P是一种紧凑且方便用户的设备,可安装在限制区域内。其特点最大限度地提高了工艺速度，并允许重复性。该系统具有可靠性和准确性，为要求最苛刻的应用程序提供了最高质量的晶圆制造。