二手 SPEEDFAM SFDL-9B-5L #9223971 待售

SPEEDFAM SFDL-9B-5L晶片研磨、研磨和抛光系统是为半导体晶片和其他电子元件的高精度表面精加工而设计的自动化加工机。该机器采用双主轴设计，可同时研磨和抛光两个晶片。这有助于提高吞吐量并缩短处理时间。SFDL-9B-5L还配有一个五轴机械臂，能够处理晶圆研磨、研磨和抛光过程的各个方面。这种机械臂能够以各种角度和速度移动主轴，以确保压力和结果的均匀性。此臂还允许操作员在多个工件上同时编程独特的表面饰面。机器人手臂由3.7千瓦交流电动机提供动力，可以以高达50,000 RPM的速度操作其主轴。主轴本身是由先进、重量轻且耐腐蚀的材料製成，可确保更好的性能。此外,每个主轴都配有独立的振动传感器,以确保在操作过程中得到一致的结果。这台机器还采用全自动抛光工艺，根据设计要求最多分五个阶段进行。这包括1000粒抛光纸的精加工工艺，高精度的金刚石抛光化合物，最后是软抛光的工艺以达到镜面般的光泽。这样可以确保每个晶片上均匀且高度精确的表面光洁度,且不存在任何不一致之处。SPEEDFAM SFDL-9B-5L还有一个完全集成的监视器,可显示所有相关的操作信息,并允许用户访问广泛的设置数据库以获得精确的结果。这包括有关研磨和抛光过程的详细信息，如主轴速度、研磨压力和抛光持续时间。最后,SFDL-9B-5L具有内置的安全功能,可确保系统的安全和正常运行。这包括移动检测器、控制系统和紧急关机,在发生故障时会自动使机器脱离。这样可以确保客户的安全和生产的电子元件的质量永远不会受到损害。