二手 SPEEDFAM SH-24-H #176378 待售

SPEEDFAM SH-24-H是一种具有单一集成生产线的高效晶圆研磨、研磨、抛光设备。它能够同时处理直径达300毫米的高精度和大直径晶片。该系统有一个独立的机械臂，使它能够精确地拾取和放置各种大小的晶片在研磨，研磨和抛光的连续步骤之间。研磨过程减少了不规则性，并确保晶片表面的均匀性。先进的多轴运动单元和精密的水力弹力压力机相结合，达到了极好的晶圆平整度和均匀的表面光洁度。该机采用专利、高精度的DP-24轮，在计算机控制下快速旋转，完成研磨操作。车轮还配备了一个集成的振荡装置，可提供多达四个砂砾尺寸。磨削过程进一步完善了晶片表面的地形。SPEEDFAM定制设计的SH-24-H砂轮是专门为此设计的。车轮将研磨过程分为精密表面研磨步骤，然后是快速精磨步骤。在表面磨削过程中,数控轮对晶片施加三轴力,而柔性磨削轮同时遵循晶片的轮廓。在精磨过程中,车轮遵循相同的运动路径,但分辨率更高,进料速率更高。抛光工艺进一步完善了晶片表面的形状和纹理。SPEEDFAM SH-24-H采用两种不同的抛光技术。首先，利用一个全自动的零间隙检测站，测量晶圆的整体形状精度，消除任何微观毛刺。接下来，多轴机械臂对整个晶圆表面施加精确的抛光力。然后将晶片定向并凹进四个专有抛光板中的一个板中，在该板上固定一个光学透明抛光垫。这款护垫包含精确分级的机械抛光介质，与专门配制的抛光化合物结合使用，以获得一致和受控的结果。总体而言,SH-24-H工具是一种高度通用、高性能的晶圆研磨、研磨和抛光资产,可快速轻松地满足最严格的生产要求。该模型以其先进的技术，保证了晶圆精加工的高精度，保证了晶圆精加工的最高质量。