二手 SPEEDFAM SH-24 #9255915 待售
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ID: 9255915
优质的: 1996
Single head polisher, 24"
Plate diameter
Rough polishing: 609.6 mm
Final polishing: 656.0 mm
Pressure plate diameter: 228.6 mm
Polishing plate rotation speed: 6 - 36 rpm
Pressure plate drive speed: 6-36 rpm
Oscillation width: 520 mm maximum
Oscillation speed: 5 - 30 mm/sec
Pressure plate FWD/BWD stroke: 70 mm
Pressure cylinder: 100 x 120 st
Electrical / Air specifications:
Main motor: 2.5 kW, 4 P
Oscillation motor: 0.9 kW
Pressure plate drive motor: 0.2 kW, 4 P
Air pressure: 4.5 - 5.0 kg/cm²
Air supply: 22 N1/hr
Control circuit: 100 V, 1 Phase, 50/60 Hz
Main power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz
Total: 2.52 kW
1996 vintage.
SPEEDFAM SH-24是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备,能够高产、经济高效地批量生产超高精度晶圆。它的设计和制造采用了最新的技术进步，以提供最先进的性能和效率。SH-24具有创新的主轴进给系统,能够将每转1.0 µm至160 µm之间的索引。这确保了精确和可重复的研磨和研磨结果，以确保最佳的表面光洁度和平坦度。集成的双级伺服电动机确保了高主轴转速的稳定性，允许各种材料的研磨和抛光。SPEEDFAM SH-24还配备了先进的研磨板装载机，能够快速装卸多个研磨板，用于即时晶片制备。这大大提高了吞吐量和生产效率。此外，集成的湿式洗涤器确保了均匀和一致的液体输送，不需要手动擦拭和清洁。此外，SH-24还配备了一个可选的视觉单元，可监控晶圆加工阶段并自动调整压力和速度，以确保最佳效果。这样即使在难以加工的材料上也能确保均匀的表面光洁度和平整度。可选的自动基板预冷机进一步提高了SPEEDFAM SH-24的性能。这样可以防止对细腻的基板造成潜在的热损害,并最大限度地减少总扭曲。此外，冷却工具还提供了良好的过程控制和均匀性。总体而言，SH-24是一种用途广泛、经济高效、可靠的晶圆研磨、研磨、抛光资产，专为高产、一致、精密生产超高精密晶圆而设计。凭借其先进的功能,SPEEDFAM SH-24可提供准确和可重复的结果,同时确保高吞吐量、降低运营成本和提高整体生产效率。
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