二手 SPEEDFAM SNG-32BAW #9279646 待售

SPEEDFAM SNG-32BAW是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备.它设计用来处理直径6、8、12和16英寸的晶圆，最大容量为16英寸。其特点是采用液冷主轴来减少热漂移和提高精度，以及采用三级主轴速度控制系统。该装置还设计用于提供对研磨、研磨和抛光工艺的精确控制，最大限度地减少工艺变化并提高产品产量。SNG-32BAW功能包括PLC控制器和多区域环境外壳,以保持温度稳定性。机器还配备了两个可配置为同时研磨一个或两个晶片的独立主轴，并具有精确、低微切削精度的高精度卡盘单元。该机还包含高压润滑机，为一致的研磨压力。研磨过程由安装在轴承上的内部行星齿轮工具完成。该机具有高精度旋转运动驱动资产，位移精度± 0.3 μ m。它还提供了用于研磨速度调整的三区变速旋转运动控制模型以及在直径6、8、12和16英寸的晶圆之间快速切换的能力。SPEEDFAM SNG-32BAW以其多区域行星变速控制设备和简单的编程算法提供了一系列抛光选项。借助触摸屏控制器，可以对一个有助于确保均匀抛光结果的逐步抛光序列进行编程。此外,内部和外部抛光工具可以配置不同的抛光速度和设置。SNG-32BAW还具有大型数据采集系统和数据分析单元,可用于跟踪、分析和优化流程性能。机器还可以连接到一个可选的基于计算机的图形处理单元（GPU），用于晶圆研磨、研磨和抛光过程的高级数据分析和监测。总而言之,SPEEDFAM SNG-32BAW是一种用途广泛、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光机,旨在以最小的工艺变化提供精确的结果。它包含了一个可靠的PLC控制器、变速控制工具以及数据采集和分析资产,使其成为那些希望获得可靠、精确的晶圆研磨、研磨和抛光设备的人的理想解决方桉。