二手 SPEEDFAM SP 1200 #9259369 待售

SPEEDFAM SP 1200是一种自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。这种多用途单元是为精确和可重复晶片处理而设计的。除了研磨和抛光基板外，该机还可用于精细晶片研磨，可选择旋转晶片正面和背面的研磨板。该系统设计用于处理最大的晶片（最大500毫米）,从而实现高吞吐量和灵活性。SPEEDFAM SP-1200有一个工作室，尺寸为600x750 x 525mm（l x w x h）。内部高度可定制为380至475mm,用于晶圆厚度和晶圆研磨。工作室的内部压力由两级除尘器维持，确保晶片在整个过程中不受污染。自动化过程由一个机械臂提供动力，该机械臂配有一个终端效应装置，该装置操作一个研磨、研磨和抛光（GLP）模块，其中包括真空卡盘、金刚石浆液杯和旋转板。旋转板以300-1500 rpm的转速转动,从而能够精确控制研磨或抛光过程的速度。GLP模块还配备了诊断机器，用于监控空气供应、泵压、研磨力和速度、腔室内相对湿度以及基板尺寸和压力等参数。这样可以确保工具在最佳级别运行。该单元包括一个加载和卸载功能，方便晶圆处理，并具有最多存储50个晶圆程序的能力。它还配备了直观的用户界面，允许在操作过程中轻松监控和控制资产。SP 1200旨在确保可靠和一致的晶圆处理。与手动流程相比,其可靠可靠的模型提供了许多优势,包括更快的完成时间、精确且可重复的结果、最小污染风险以及改进的流程控制和性能。