二手 SPEEDFAM SP 800 #143296 待售

SPEEDFAM SP 800是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于先进半导体晶圆的可重复、高精度处理。它包括一个台式主轴工作头与集成空气轴承支撑，可调节和可配置的抛光阶段，和全自动追踪。该系统采用具有空气轴承的高扭矩、低速主轴,以确保晶圆的操控和精确定位,以及可调节和可配置的抛光级,以进行有效的抛光操作。该装置的一个关键特点是它能够通过监测负载和保持过程的稳定和一致来精确控制磨削和抛光过程。全自动可追踪性机器提供了抛光过程的准确记录，包括研磨和抛光参数、错误恢复历史和历史趋势。这有助于最大限度地减少缺陷引起的报废和返工。它还提供了一个直观的图形HMI集成过程控制参数和警报管理。还提供了各种各样的配件，使用户可以自定义该工具，并将其配置用于不同的抛光应用。总体而言，SP 800是先进半导体晶圆材料可重复、高精度加工的理想选择。