二手 SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA #9386560 待售

SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统,设计用于高性能电子和MEMS应用的薄膜材料精密精加工。它具有自动化的全尺寸48 "x 48"工作平台、全尺寸陶瓷心轴和可调、可编程的速度控制。SP-GYR-48PNLCCA包括一个闭环控制器,以保持精确的过程条件,并提供特定于应用程序的地形控制、可调节的回转速度、力、水位和SPITFIRE Spin Process™技术,以实现卓越的表面光洁度。它能够进行单轴和多轴研磨/研磨操作。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA配备了自动化、计算机控制的研磨/研磨头,可提供高度重复的精加工过程。机头连接到强大的高扭矩电动机,可提供精确的研磨/研磨动作,以确保均匀的光洁度。马达也被不锈钢外壳包裹，以保护它免受灰尘和碎屑。先进的SP-GYR-48PNLCCA工艺控制系统使其成为薄膜抛光的理想选择。这是通过使用高级软件进行过程控制和优化而实现的，这使得实现均匀的表面光洁度变得容易。该软件还使用户能够定义工艺参数并自定义磨削和抛光操作以满足特定要求。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA适用于晶圆薄膜抛光、MEMS器件制造、倒角、镜面精加工和绝缘子上硅晶圆预处理等广泛的晶圆加工应用。它是精加工薄膜材料时要求高精度、精确度的用户的理想选择。该系统配有一系列消耗品和附件,符合CE标准。