二手 SPM Y-06147A #9181616 待售
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SPM Y-06147A是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计用于对蓝宝石、硅、石英、石英玻璃、石榴石等半导体材料进行精确的去核和精加工。该系统由高效的自动研磨抛光结构组成,由研磨阶段、研磨阶段和抛光阶段组成。该单元的研磨阶段使用一个研磨盘,它可以产生所需的表面粗糙度,切削深度最小。磨盘用于产生具有纳米级精度的平坦且平行的表面。研磨台设有振动研磨头,提供自动化的低压和低速研磨抛光。此过程允许生产具有低粗糙度水平的超光滑曲面。抛光阶段由抛光轮组成,该抛光轮将晶圆抛光到很高的精度。这台机器具有低振动结构,可减少研磨和抛光阶段引起的振动,并将热梯度对晶圆的影响降至最低。此外,它还有一个水冷工具,可以降低研磨室内的温度,提高研磨和抛光过程的一致性。该资产配备了自动化的操作员界面模型,该模型提供各种设备功能,能够在生产过程中进行高效的操作和高级控制。Y-06147A是一个可靠、高效的晶圆研磨、研磨和抛光系统,专为半导体材料的加工而设计。该单元具有低振动、温度稳定设计和自动化操作员界面系统,可产生准确可靠的结果。对于生产过程中可靠性和准确性非常重要的所有生产线作业来说,这是一个理想的选择。
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