二手 SPM Y-09065A #9153429 待售

SPM Y-09065A是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为高级微电子器件的制造和/或包装等抛光应用提供解决方桉。该系统配备了多种安静、高性能的电动机，能够对晶圆表面进行精确、高效的研磨、研磨和抛光。它能够容纳直径不超过200毫米的晶片,并且具有自动索引功能,能够对单个晶片进行连续研磨、研磨和抛光。Y-09065A研磨轮、磨料带和抛光垫结合使用。它配有两个高扭矩主轴,每分钟转速从0转到126转,在TSV和基板空隙等高纵横比应用中提供高达0.12 μ m RMS的微调表面光洁度。该装置利用先进的运动控制和视觉技术，确保研磨和抛光冰球相对于晶圆表面的精确定位。运动抛光头块的使用进一步提供了稳定性和精确的表面控制，同时实现了表面光洁度。空气承载技术使SPM Y-09065A能够使用单个电动机驱动所有过程，同时提供卓越的隔振和低功耗。其无振动操作使其实现了优越的表面轮廓、平整度和超光滑的饰面。该机器包括一个静水润滑工具，通过减少摩擦和磨损以及消除与润滑有关的维护成本，增加主轴电机和模具的寿命。Y-09065A能够生产高质量的饰面,具有出色的可重复性,只需竞争系统成本的一小部分。其经济高效的设计消除了对附加附件的需求,使其成为高吞吐量和节省成本的应用程序的理想选择。该资产与各种研磨、研磨和抛光材料兼容，可以定制以满足各种应用需求。