二手 STAEHLI 1500 #9212916 待售

STAEHLI 1500是一种最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于复杂的MEMS（微机电系统）生产过程。该系统采用高精度直线电机驱动，具有优异的运动控制和过程稳定性。与传统的研磨系统相比，该设备的设计提供了更高的精度和更高的吞吐量，其直观的用户界面和直观的触摸屏使编程过程变得容易。机器可以配置各种流程头配置和自动化流程控制，以最大限度地提高生产率和可重复性。1500采用计算机控制的伺服驱动线性驱动器,可驱动抛光和磨头,从而实现全方位的精确行驶。该工具可用于各种研磨、抛光和研磨操作。这些精密工艺可以在平面和圆柱形区域的各种速度范围内实现。资产提供了扩展的可编程研磨参数,包括速度、深度、通过次数和暴跌速率。模块化的头部配置可以容纳直径从18到150 mm不等的研磨/抛光垫。STAEHLI 1500还提供高精度的电子定位测量系统，可纳入过程控制模型，以监测过程并辅助精密轮廓研磨。1500是一种多合一设备,可放置在多种生产环境中,并用于多种MEMS组件。该系统具有可靠、精确的机芯，能够实现最高的精度和最高的可重复性，产生一致、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光效果。该单元还非常适合研发和生产相关的工艺开发。STAEHLI 1500具有直观的用户界面和易于编程的过程参数，是任何MEMS组件处理应用的理想选择。