二手 STAEHLI FLM 1000 #9212914 待售

STAEHLI FLM 1000是一种自动化的高精度晶圆研磨、研磨抛光设备。该系统适用于先进材料的生产，如光学质量玻璃、光纤、玻璃、金属、陶瓷和晶片。它提供了灵活性、准确性、速度和吞吐量的组合。FLM 1000是一个双轴机器人单元，配备了最新的安全功能和智能自动化能力。它设计用于处理要求苛刻的研磨和抛光操作，具有精确和可重复性。该机器包括两个完全可编程的运动轴，以及一个21英寸的行程范围，能够同时处理多达两个晶圆。除了单个主轴之外，该工具还提供了可选的双主轴，提供了同时处理两个晶片的能力。STAEHLI FLM 1000可以进行广泛的研磨和抛光工艺，从粗磨、精细抛光和边缘磨削，到多种表面饰面，如镜面饰面、超精细饰面、四分之一切割饰面，甚至是下表面饰面。该资产采用减振模型，可最大程度地减少晶圆失真，并集成精细运动控制和专用机器人晶圆处理，为实现机械性能提供精确的机械和化学调节。该设备配备了先进的控制器，包括带有数据反馈和传感器的自动过程，以及用于精确同步两个运动轴的独特运动轮廓特征。它还提供高级可视化和数据采集选项。FLM 1000由具有高扭矩驱动的无刷电动机提供动力，以最小的噪音和振动提供卓越的性能，并且可以运行长达一个完整的8000小时的班次。该系统是为经济运行而设计的，利用开环单元体系结构来降低运营成本，同时保持高水平的过程准确性。STAEHLI FLM 1000专为高端生产应用量身定制，提供优越的刀具寿命和对研磨抛光参数的精确控制。此外,该机还具有多种工艺选项和易于维护的功能。