二手 STAHLI DLM 700-3 #9195339 待售
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ID: 9195339
优质的: 2002
Lapping machine, 28"
Feed-in and feed-out table
Specifications:
Working range:
Wheel diameter maximum: 27.559" / 700 mm
Wheel ring width maximum: 7.874" / 200 mm
Work piece height maximum: 3.937" / 100 mm
Speeds:
Continuously variable:
Top wheel: 0 - 200 RPM
Bottom wheel: 0 - 200 RPM
Center drive: 0 - 100 RPM
Drive power:
Top / Bottom wheels: 12.7 HP / 9.5 kW
Center drive: 5.0 HP / 3.8 kW
Operating pressure adjustment: 0-1300 daN (Pneumatic)
Operating pressure:
Air connected minimum: 6 Bar
Digital measuring instrument:
Range: 0.3937" / 10 mm
Accuracy: 0.00003937" / 0.001 mm
Workplace-based noise emission value:
AP1-Idle operation: Approximately 75 dB (A)
Working noise: Approximately 78 dB (A)
Equipped with:
SIEMENS Simatic panel PC controller
Loading / Unloading tables
KOOLANT KOOLERS KV-1000 Chiller
Inspection straightedge, 20"
With (2) dial gauges
Dose not include:
Fine grinding plates
Coolant (Oil) system
Electrical equipment:
With DIN 57 113 / VDE
Cable-cross: 25 mm²
Control voltage: 230 V / 50+24
Connected load / Power requirement: 23 kW / 80 A
Power: 220 VAC, 60 Hz
2002 vintage.
STAHLI DLM 700-3是先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，提供卓越的效果和高精度的加工。这种多用途的干法工艺系统可同时研磨、研磨和抛光多种晶片类型,厚度从2毫米到18毫米不等,直径从150毫米到300毫米不等。它由多达三个独立的可编程磨削和抛光主轴组成，全部由单个扭矩电动机集成和驱动。DLM 700-3是唯一能够完全控制研磨和抛光工艺参数的设备,包括高级自动化功能,如过程传感、去除速率和表面光洁度的反馈控制,以及广泛选择的工艺配方。对于高吞吐量生产,该机器可轻松扩展,可用于并行处理的附加主轴。STAHLI DLM 700-3提供了卓越的去除精度,因为每个晶片通过研磨和抛光主轴自动进料。集成的视觉和过程中的计量系统提供关键的反馈，以优化研磨和抛光结果。使用这些系统可确保刀具自动可靠地工作,从而获得更好的表面光洁度和更高的去除精度。此外,该产品还配备了标准的工艺卡带,可缩短安装时间,提高生产效率。SLM 700-3资产专为最苛刻和最困难的应用而设计,可实现高速和精确的大规模生产。这种通用和全自动的模型集成了一系列的加工工具，从标准的研磨板到先进的磨轮和金刚石磨料。此外，该设备允许使用泥浆分销商，从而能够精确控制各种工艺流体。该系统还能够在处理晶片的同时保持清洁和安全的环境，内置安全功能包括除尘装置、通风和声学监测。总体而言，DLM 700-3是一种对多种晶圆进行精确高效处理的强大机器。它旨在超越精度和可靠性的最高标准，为大批量生产或研发应用提供优化平台。STAHLI DLM 700-3是众多领先晶圆制造商的选择，提供了满足苛刻应用要求的最多功能性和灵活性。
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