二手 STRASBAUGH 6BL #9137737 待售
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STRASBAUGH 6BL是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,适用于包括光子学、半导体、生物医学、MEMS、光学和薄膜制造在内的各种应用。它在磨削、研磨和抛光工艺的每一步都具有很高的精度。6BL系统使用行星基底运动来实现一致、高精度的精加工。它能够研磨、研磨、抛光大小晶片,可容纳直径达8英寸的基材。该机设计为实现低颗粒污染水平,构造具有广泛的操作员安全特性。该设备提供易于使用的界面,具有可配置的自动化功能,包括启动、关闭、研磨和抛光时间、晶圆轨道以及特定的速度控制设置。STRASBAUGH 6BL机具有多种研磨功能,包括表面和边缘研磨、亚微米颗粒去除和晶圆变薄,非常适合各种精加工要求。6BL工具结合了行星基部独特的三轴性质,它们的X、Y和Z轴。X轴和Y轴串联工作,由交流伺服电机控制,可实现极其精确和快速的重复性。随着这些轴的发展,它们内化接触压力,自然产生球形到基板。Z轴由高度精确的微米组成,该微米监视和精确控制所需的接触压力,以确保基板磨碎到目标形状。该资产提供了一个直观和用户友好的界面,提供简单的导航菜单和屏幕直观操作。易于使用的触摸板控件具有预设程序和数字菜单,使操作员能够快速设置和运行模型。该设备具有高效的粉尘和微粒遏制系统,有助于减少操作员接触危险微粒。STRASBAUGH 6BL单元为晶圆研磨、研磨和抛光提供了一种高度精确的机器,可处理半导体、MEMS和光学行业中的各种基板。6BL具有高速度、高精度、低污染率的特点,是保证高质量表面光洁度、高重复性好的理想方法。
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