二手 STRASBAUGH 6CA #9186227 待售
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ID: 9186227
Polishers
SSEC 176 Wafer scrubber
Acid neutralization system
(2) Vector one fume exhausts
Wet bench (Laminar flow over transfer stage)
(2) Packing stations:
Alcohol vapor dryer
Laminar hood over vapor dryer (Class 100)
Bright light inspection station
DI Water system, 18 MΩ (High capacity)
(2) Cleanroom: Class 100
Measurement equipment: 4-Point probe, N / P Typing, Thickness gauge.
STRASBAUGH 6CA是一种通用、精确、高效的晶圆研磨、研磨和抛光系统。它是金属、陶瓷、石英、熔融二氧化硅、聚合物等多种基板表面调节等多种应用的理想选择。STRASBAUGH 6 CA为50纳米薄的研磨、研磨和抛光提供了无与伦比的精度和可重复性。该系统采用高度紧凑的设计,需要最小的地板空间,并具有单一操作功能,可大大降低人工成本。6 C A利用Dualside™和Unionside™加工技术取得优异的晶圆加工效果。双面技术提高了研磨速度，同时保持了研磨分辨率，确保了低水平的颗粒诱导的非均匀性。Unionside技术在晶圆边缘提供了难以置信的精确平坦度测量,并且可以产生半径在1微米以内±圆形晶圆。6 CA具有独立控制本地晶片压力（LWP）的功能,允许用户精确控制每个晶片上的压力。结合其抛光夹具,STRASBAUGH 6C A提供了晶圆研磨,研磨,抛光控制的极致.系统的数字面板显示和运动控制器软件允许远程访问、监视和控制6CA的操作。在数字面板上存储和显示所有变量后,用户可以快速调整参数,而无需从控制控制台移动。STRASBAUGH 6CA是晶圆研磨、研磨和抛光需求的完整解决方桉。其高效、精确的处理能力，加上其扩展能力和强大的应用范围能力，使得STRASBAUGH 6 CA成为高级晶圆处理的绝佳选择。
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