二手 STRASBAUGH 6DE-1 #9256748 待售

STRASBAUGH 6DE-1是一种晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体晶片和其他相关基板的精密材料去除和改进表面平滑度。该系统采用高精度、可编程的6轴运动控制单元，为磨削、研磨、抛光工艺提供优于传统机械磨床的控制水平。6DE-1的心脏位于其六个CNC伺服控制轴,这些轴提供了光滑、可重复和倾斜的研磨/研磨/抛光工艺。磨削/研磨阶段的主要组成部分是可编程的高精度数控伺服控制机器人臂，该臂精确控制抛光过程的运动，以达到理想的效果。机器人臂安装在支撑臂上，提供水平和垂直调节能力，而抛光头安装在丙烯酸对峙上，允许抛光操作时更精确的位置。该机还采用了金刚石浸渍压板提供优越的抛光效果。这种压板由四个交流感应电动机驱动，这些电动机是专门为使用的磨料类型设计的。压板固定在轨道工具上，使压板能够以可变的速度从缓慢和高度控制的运动移动到高速表面抛光。为确保达到所需的表面光洁度,还可以改变压板速度和抛光压力。STRASBAUGH 6DE-1设计用于自动清洁室操作,有助于最大程度地减少基板受到污染的影响。该资产配备了许多功能以防止污染,例如闭环过滤模型、控制和监控过程温度的能力以及自动检测和关闭过程异常。6DE-1是晶圆研磨、研磨和抛光的精确、可靠和可重复的设备。它旨在为高精度材料去除和改善半导体晶片及其他相关基板的表面平滑度提供经济高效的解决方桉。STRASBAUGH 6DE-1具有可编程的6轴运动控制系统、金刚石浸渍板以及众多的安全和污染特性,是专门为精密晶圆加工而设计的设备。