二手 STRASBAUGH 6DE-DC-4 #9233423 待售

ID: 9233423
Polisher.
STRASBAUGH 6DE-DC-4是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,适用于10至200毫米晶圆加工。该系统采用了最新的磨料技术,瞄准单点金刚石磨轮和研磨板。该单元建立在一个6自由度(6DOF)平台上,提供了处理任何任务的灵活性,从简单的研磨到更复杂的研磨和抛光操作。6DE-DC-4使用计算机数控(CNC)定位和精细控制来提供高精度。磨料盘使用执行器绕晶片移动,其中一系列战略性地放置的喷嘴控制磨料流体的压力和流动。STRASBAUGH 6DE-DC-4还集成了高级检查功能。采用线型摄像机,采用抓帧技术,能够准确检测晶片表面,确定任何处理误差。然后可以使用过程数据来优化处理参数,确保一致且可重复的结果。机器可以同时处理单层和多层晶片,使用独特的双层方法,允许在两个阶段进行处理,具有不同的磨料流体强度。这样可以确保每一层都磨碎并抛光到相同的水平。6DE-DC-4能够达到极高的表面光洁度和平坦度,也能够加工厚晶片。用于生产硅和复合半导体材料,容易融入现有生产线。STRASBAUGH 6DE-DC-4具有较高的吞吐量,可提供出色的过程灵活性和控制能力。这使得它成为任何需要高精度、高吞吐量和效率的操作的理想选择。
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