二手 STRASBAUGH 6DJ #9215639 待售
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STRASBAUGH 6DJ是一种精密的双面晶片研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是为复合半导体、光电、光学和MEMS器件的制造提供可重复、高产量的光洁度。此工具旨在取代过时的单面研磨、研磨和抛光系统,提高产量、重复性和效率。6DJ包括两个独立的加工头,每个头都有自己的独立可控的升力和倾斜轴,以及高精度的W轴平移阶段,以便对工件的研磨、研磨和抛光过程进行精确、可重复的控制。两个磁头都安装在Z轴桥上,这样可以更精确地移动加工磁头,从而提高过程的重复性和准确性。每个处理头还配备了自动装卸机制,允许更快、更高效的过程。磨削过程由STRASBAUGH 6DJ专有的金刚石磨削轮进行,提供低位错密度和卓越的工艺重复性。研磨由机器的水冷研磨板提供,这也有助于减少对工件的热冲击。机器的抛光工艺由其双头抛光轮提供。6DJ还可以针对各种不同的抛光过程轻松配置,例如化学机械抛光(CMP)和机械抛光。STRASBAUGH 6DJ的控制系统允许用户友好的操作,每种应用程序类型的配方由操作员轻松编程。该股还提供广泛的过程反馈和监测能力,包括力和振动传感系统,从而能够实时监测过程。这些特性为操作员提供了评估工艺和工件质量的基本数据。6DJ是一种高度通用的工艺技术,为精密晶圆研磨、研磨和抛光应用提供了卓越的解决方桉。该机多用途的控制机器、双处理头和广泛的配件为客户提供了满足其特定需求的灵活性,从简单到复杂的流程要求。STRASBAUGH 6DJ为您的所有复合半导体、光电、光学和MEMS设备需求提供了可靠、可重复的解决方桉。
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