二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293594671 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一流的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为高精度和吞吐量而设计。该系统可提供最大的吞吐量和精确度,提供高达400毫米硅、III-V和复合半导体晶片的研磨、研磨和抛光,表面光洁度高达20微米。该单元可以进行磨削、研磨和抛光的单次或多次操作，包括相对粗加工和精加工操作。它具有三轴运动控制和具有自动和手动操作模式的晶圆载荷/卸载表,以及独立的零件机器人排序功能。该机适用于各种操作-从研磨和研磨到抛光和后研磨,包括精密和高通量工艺。也可用于晶片切片、线锯、通孔钻孔和高速切块。利用多轴补偿的三轴高性能垂直机轴，实现精度和可重复性。其各自的进给速度和方向，加上模块化调整参数，使得它适合所有的工艺步骤。由直接步进电机驱动的精密线性滑轨用于所有三个轴，以提高精度和表面光洁度。该工具还利用数字控制和CANbus控制的组件以及以太网连接实现远程集成。其高精度的空气轴承是为低振动和优越的"滑移"特性而设计的，为极高精度和超低晶圆偏转而设计。高度自动化的资产使用半自动加载/卸载系统来降低周期时间，并消除人为错误的可能性。该模型还包括一个图形化的工具路径编辑器，它允许用户快速而轻松地创建各种各样的复杂形状、曲线、线条和锥形特征。此外,其闭环控制旨在自动调整磨削周期以适应每个工艺条件,以保持尽可能高的精度和表面光洁度。STRASBAUGH 6 DS-SP能够为各种行业提供服务,从航空航天和汽车到消费电子,为晶圆研磨、研磨和抛光提供经济高效、可靠和高效的解决方桉。除了用户友好而且提供卓越的准确性、可重复性和速度外,这些设备还提供了更快的投资回报和最大的吞吐量。