二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293594673 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于半导体工业。能够生产具有优良表面质量的高精度介电和金属基晶片。该系统利用精密的砂轮和皮带来降低表面粗糙度，提高材料去除率，创造非常光滑的表面。晶圆磨削采用金刚石涂层砂轮和皮带。此组合可提供卓越的长期磨料性能和灵活性,从而实现更高效和一致的研磨。采用受控研磨工艺进一步改善表面表征，制备晶片进行抛光。这样可以确保整个晶片表面均匀研磨和抛光。STRASBAUGH 6 DS-SP晶圆研磨单元配备了先进的自动化和编程配方控制，使其能够在最低限度的用户干预下操作。其控制软件旨在提供易于使用、直观且功能强大的界面。本文采用精密视觉仪来检测每个晶片的表面，并监测材料的设置参数、去除率以及研磨和抛光的均匀性。这确保了高质量的晶片输出,而与批量大小无关。6DS-SP基于经过验证的STRASBAUGH 6DFTM平台,与最新的半导体级金属、合金和介电材料兼容。它具有先进的物料处理功能,并为可重复和可重复的结果提供最大的可靠性。该工具专为处理1至30英寸晶圆的大批量生产运行而设计，这些晶圆具有薄层金属材料和介电基板。6 DS-SP还提供高精度的自动化晶片过程控制和环境控制,从而可以完全控制结果的质量。它提供了广泛的高级控件，如工艺参数优化和晶圆历史跟踪，这有助于降低风险和消除处理错误。资产的设计考虑到质量保证，并结合了关键的质量控制工具，如应力映射、统计过程控制和故障分析。当与6DFTM结合使用时，STRASBAUGH 6DS-SP是精密晶圆加工的强大模型。它能够满足高可靠性晶圆产品苛刻的生命周期要求,非常适合过程开发和生产运行。