二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293597853 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统旨在创建纳米级的曲面,这些曲面是许多高科技行业的关键组成部分。STRASBAUGH 6 DS-SP单元非常适合生产用于半导体制造的抛光硅晶片。6DS-SP机采用不锈钢、基座安装平台和高精度线性运动及手轮设计，确保晶圆表面光滑且无缺陷。磨削单元采用双板设计，聚合物溷凝土结构，6英寸的板载能力。研磨抛光单元由分段、真空卡盘、五轴饰边和两轴可配置压板组成。该工具还包括两个独立的晶片托盘和一个晶片输送带，这有助于加载、研磨、研磨和抛光操作。6 DS-SP资产具有显微涂层、交叉研磨、次研磨、表面研磨和缺陷平整的能力。此外，该模型还可以在半导体和光电器件的晶片上产生纳米级的超平整表面。设备的闭环伺服控制技术确保了精度、重复性和可靠性。该系统还具有边缘保护、物理防护、润滑控制、紧急停止等多项安全技术增强功能。STRASBAUGH 6DS-SP单元的用户还可以通过编程和控制机器参数实现整个过程的自动化，并启用并发过程操作。该工具配备了触摸屏界面，允许用户输入自定义信息，以及存储和/或共享数据日志和统计过程控制（SPC）图表。STRASBAUGH 6 DS-SP的设计符合晶圆研磨、研磨和抛光工艺的最高质量和生产标准。凭借其创新的设计、闭环伺服控制、安全特性、自动化潜力和触摸屏界面，用户可以获得最高水平的准确性、可重复性和可靠性。