二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293709492 待售
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ID: 293709492
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1994
Polisher, 4"-8"
CMP System
(2) Tables (Primary and secondary)
(2) Slurry dispenses
High pressure table rinse bar
VIPRR Carriers
Zone back pressure
Hydrolift load station
1994 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于多种材料,如氧化的、SiC、GaN和Si基化合物。它专为加工更高精度的晶片而设计,并改进了表面饰面,从而实现了更高效的研磨和抛光工艺。系统通过接收晶片输入并将其放置在加载站上来工作。操作员然后选择所需的研磨、研磨和抛光过程。然后将晶片输送到研磨部分,在那里由悬浮在研磨室内流体中的研磨颗粒进行研磨。此过程将材料从晶片表面移除,从而可以进行抛光操作。然后将晶片输送到研磨部分,在那里使用研磨材料和特殊研磨流体进行研磨。这个过程使晶片表面平滑和抛光,从而产生更均匀的表面光洁度。最后,将晶片放入抛光站,进行四种初级抛光技术。首先,晶片经过表面调节,消除晶片表面的划痕和瑕疵。其次,晶片经过化学机械抛光工艺,利用化学磨料有助于进一步光滑和细化表面。第三,晶片经过电抛光工艺,进一步细化晶片表面。最后,晶片经过亚微米抛光工艺,其设计目的是产生比以前工艺更小晶粒尺寸的表面光洁度。归根结底,STRASBAUGH 6 DS-SP单元是一种高精度晶圆研磨、研磨、抛光机,有助于生产表面光洁度提高的晶圆,大大减少加工过程中需要去除的材料量。
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