二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293747127 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是下一代晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在提供半导体基板最可靠、最高效的加工。该系统采用先进技术设计,在背面变薄、研磨、研磨和抛光的所有阶段均提供卓越的性能。STRASBAUGH 6 DS-SP单元使用变速电动机提供高重复性和受控过程。它具有PLC控制机器，以确保在整个过程中保持所需的机器设置和过程参数。该工具可容纳直径在200毫米至300毫米之间的晶圆。它的传送带设计提供了刚性和准确性，以及低矮的足迹空间受限的环境。6DS-SP具有集成的交联输送机资产,可确保优化的基板加载和晶圆管理,从而提供高吞吐量。其工艺室采用全景直通设计,在进行清洁和其他维护任务时易于访问。模型还装备了位于加工室外的梳妆台。这使操作员能够在磨削过程之前方便地对磨削轮进行修整。溷合研磨设备利用旋转和行星运动创建振荡路径，以实现更高的研磨效率和均匀性。高效过滤系统消除了空气中的颗粒，在过程中保护晶圆表面。此外,6个DS-SP系统附带了一套全面的设置和监控工具。软件套件包括高级流程控制、数据记录、在线诊断和数据格式的报告。使用设备的通用流程参数数据库可以进行实时流程控制,从而可以根据应用程序要求进行调整。该机还包括用于均匀性测量的3D激光表面图。STRASBAUGH 6DS-SP晶圆研磨、研磨和抛光工具利用成熟的技术在半导体材料加工中提供可靠和可重复的结果。提供快速高效的基板加载和晶片管理、强大的电机加速度和受控工艺参数,是满足高速加工要求的理想解决方桉。