二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293754576 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种革命性的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足当今薄晶圆加工行业的严格需求,提供精密和高生产吞吐量。该系统结合了高速、低噪声和表面光洁度以及低污染和最小循环时间。STRASBAUGH 6 DS-SP的中心部件是其6轴计算机控制的磨头,它利用获得专利的"鳄鱼"工具实现无与伦比的磨削和抛光体验。多个高速研磨和抛光头能够满足最苛刻的工艺要求。防护罩最大程度地减少了空气中的污染，封闭的密室创造了一个清洁、无霉和无颗粒的环境。6DS-SP可容纳直径从200 mm到300 mm的基板,因此适合各种薄片加工任务。该单元可以处理一系列令人印象深刻的基板，从硅片等刚性基板到玻璃、陶瓷、铝等软基板应用。集成测量机、在线粒径测量、柔性脉冲技术保证了基板性能的最大化和可重复、一致的抛光效果。为保证准确性，6 DS-SP配备了高分辨率显微镜和随附的视觉相机。显微镜，具有高达30倍的放大倍率，检查抛光表面从任何角度高精度。视觉相机快速准确地捕捉和记录基板表面的高清图像，以确保性能恒定。配备PC控制功能齐全的触摸屏，设置和编程都很快直观。STRASBAUGH 6DS-SP配备了最先进的自动化技术以及集成的高级流程计算机和数据记录功能,可提供晶圆处理性能的详细视图并帮助跟踪流程趋势。STRASBAUGH 6 DS-SP还提供了广泛的安全功能,包括自动过载保护和对不安全条件立即做出反应的过程中断工具。通过在传统方法的一半时间内完成研磨和抛光任务，6DS-SP是那些希望在最短循环时间内获得优越表面光洁度的人的首选。6 DS-SP具有卓越的功能集和用户友好的设计,是满足所有薄片加工需求的理想选择。