二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293813077 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,为平面化和表面粗糙度提供最高精度,特别适合于大批量生产应用。该系统结合磨料、浆料和特种气体，在半导体晶片、MEMS元件和其他精细产品上实现超精密、表面平整和低表面粗糙度的结果。该单元的核心是一个六向主轴（6DS）设计，具有六个独立的运动轴，可以同时研磨和膝盖小而细腻的零件。这提供了流线型、多操作的工艺能力,具有出色的表面光洁度水平。此外,该机器在一个周期内同时处理多个平面化和表面整理操作,具有出色的可重复性和对客户要求的响应能力。STRASBAUGH 6 DS-SP包括从晶圆研磨和切片一次操作到表面钝化和精加工以及研磨和抛光操作的一系列工艺能力。此外,在处理晶片和单模时,刀具便于同时修剪、研磨和背面研磨。6DS-SP还具有"热流程模式",使资产能够快速准确地响应快速周期、客户指定的参数,而无需进行中间设置和验证。该模型还具有先进的光学和视觉技术，允许它使用红外光源和3D数码相机自动检测任何表面错位，然后立即调整运动以消除差异。6 DS-SP还提供了可选的倾斜主轴，它允许微机械元件在与晶片相同的操作中进行处理。总体而言,STRASBAUGH 6DS-SP为同时研磨、研磨和抛光操作提供了前所未有的准确性,并具有快速高效满足客户定义的参数要求的灵活性。这使得它非常适合需要高精度、低表面粗糙度和平整度结果的大批量生产作业。