二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293824915 待售

Strausbaugh STRASBAUGH 6DS-SP是为半导体工业设计的功能强大、用途广泛的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一个高速、全自动的系统,旨在为各种晶圆形状和尺寸生产高精度曲面。这一单元提供了广泛的应用可能性，从研磨，研磨和抛光各种晶片基板，如多晶硅，砷化氙等。STRASBAUGH 6 DS-SP是一种特别有效和高效的稀释薄片的机器。该工具采用高速、多面主轴，配有金刚石轮子，在基板的所有侧面同时研磨、研磨或抛光。该主轴垂直安装在高刚度、低热膨胀框架上,以最大程度地减少耗尽,并在过程周期中保持精度。主轴由带有精密编码器的伺服电机控制，提供动态速度控制和反馈，以确保研磨和抛光过程一致且可重复。此外,该资产还具有闭环流程控制功能,主要允许用户指定流程的参数,并向控制器提供反馈,以确保遵循流程参数并实现所需的表面光洁度。主轴上的接近传感器监视负载力,然后由控制器对其进行补偿。这有助于产生兼容且可重复的表面光洁度结果。Strausbaugh 6DS-SP还包含多种内置安全功能,例如外壳互锁保护和防止磨料污染。此外，这款车型通过使用高精度、高效的金刚石车轮进行优化、高精度的主轴，设计为最大限度地减少热膨胀和最小化加工时间。该设备兼容各种研磨、研磨、抛光系统，如激光加工、常规研磨、变薄、抛光系统等。此外,它还能够处理厚度为150 μ m-6 μ m的晶片,其最大外径为100 mm。Strausbaugh 6 DS-SP的设计目的是在保持精度、重复性和准确性的同时最大限度地提高生产效率。