二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293831063 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是用于半导体晶片高精度平面化和精加工的下一代晶片研磨、研磨和抛光设备。该系统用于对平面表面进行机械和化学抛光,使其达到光学质量规格,且整体表面地形较低。STRASBAUGH 6 DS-SP单元设计为在SiC、GaN和GaAs等多种奇特材料上提供峰谷粗糙度低至0.08 nm和超光滑表面光洁度的卓越性能。6DS-SP是一个多轴平台，具有高架搬运机和八轴磨头。这是结合了三区"负载锁"设计和双层磨头与集成循环冷却剂工具。每个研磨头主轴采用独特的夹紧机构，以确保晶片在加工过程中被精确地固定。在设计中加入了一个整体隔离机柜，以减少资产的声响以及机载和电气噪声。6 DS-SP的控制模型使用彩色触摸屏和人机界面，方便操作。过程优化是通过实时数据采集设备实现的，该设备跟踪表面地形、真空水平和夹紧力。此外,还使用SmartMove工具路径优化器优化研磨、研磨和抛光过程。STRASBAUGH 6DS-SP能够通过过程中的计量选项产生高度精确和可重复的结果。它用于测量当前曲面轮廓,确保应用正确的工艺参数,并允许在每个循环中改进地形的控制循环。此外，STRASBAUGH 6DS-SP促进的低皮棉环境最大限度地减少了颗粒污染，从而提高了产品的最终可靠性。6DS-SP晶圆研磨、研磨和抛光系统是一个坚固可靠的平台，可确保对各种材料进行一致的加工。该单元能够在严格的公差范围内制造高质量的半导体和其他元件,从而提高生产效率和成本效益。其创新的设计，高精度和先进的功能相结合，以满足最艰难的过程要求。