二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293831748 待售
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ID: 293831748
晶圆大小: 6"
优质的: 2019
CMP Polisher, 6"
ENTEGRIS wafer carrier PA194‑60MB‑61C02
Dual‑lot processing capability with four internal cassettes (2 sender, 2 receiver)
2019 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP设备是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光系统。它设计用于高精度样品制备，可以加工直径从2英寸（50.8毫米）到6英寸（152.4毫米）不等的材料。适用于广泛的应用，包括光电子学、先进半导体器件、材料研究、MEMS和生物成像。STRASBAUGH 6 DS-SP包括多种功能,可提高样品处理的准确性和一致性。具体来说，6位精密自旋级允许高重现性和快速样品加载。此外,该单元还配有专门设计的研磨底板,以及带有快速检修夹的晶片托架和确保样品在处理过程中不会移动的托架。还包括一个集成显微镜物镜，可以用来在研磨时观察样品。6DS-SP台机器配备了多种软件和硬件选项,包括实时过程监控和配方管理,以及用于快速安全样品加载的自动主轴除屑工具。自动研磨过程结合了三个不同的阶段-研磨、研磨和抛光-依次进行,以达到高晶圆质量和均匀的表面光洁度。所有过程也都是高度可重复和可重现的，确保每次都有准确的样品准备。该资产还配备了综合过滤模型，防止灰尘颗粒和其他污染物引入过程。过滤模块包括一个一次性过滤筒、一个收集废液的排水管，以及一个在每个循环后将基板干燥的空气干燥机。这样可以确保底物的清洁度,并提高成品的质量。6 DS-SP设备符合ESD和CSA标准,并符合环境法规。其噪声水平低，可以连续运行模式运行，确保了可靠、干净的样品制备过程。STRASBAUGH 6DS-SP系统是一种功能强大、用途广泛的工具,可用于精确、一致的样品研磨、研磨和抛光,适合广泛的应用。
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